在近代科學術的許多域中對各種薄膜的研究和應用日益廣泛。因此，更加和迅速的測定給定薄膜的光學參數已變得更加迫切和重要。在實際作中可以利用各種傳統的方法測定光學參數，如：布儒斯角法測介質膜的折射率，干涉法測膜厚，其它測膜厚的方法還有稱重法、X射線法、電容法、橢偏法等。由于橢圓偏振法具有靈敏度、精度、非破壞性測量等優點，因而，橢圓偏振法測量已在光學、半導體、生物、學等諸多域得到廣泛應用。